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台積電外氣空調箱洗滌技術升級 再省電60%
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2026.10.30
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台積電外氣空調箱洗滌技術升級 再省電60%
(中央社記者張建中新竹30日電)晶圓代工廠台積電成功升級外氣空調箱洗滌技術,台積電表示,新一代設計運用自然重力取代馬達加壓,在確保洗滌效果不變的同時,達到再省電60%的效益。
台積電在新出爐的ESG(環境、社會責任、公司治理)電子報中表示,經與供應商開發外氣空調箱洗滌技術,成功節電80%,為擴大節能成效,進一步升級外氣空調箱洗滌技術。
台積電指出,升級的外氣空調箱洗滌技術是透過改裝外氣空調箱灑水系統,並導入高潤水性濕膜板,運用水流自然落下的重力,取代原本的馬達動力加壓。在維持相同洗滌效果的同時,水泵由10馬力降至4馬力,達到再省電60%的效益。
台積電表示,至今年10月,升級的洗滌技術已於晶圓六廠與先進封測七廠完成運轉驗證,未來將推廣至各12吋晶圓廠區,精進綠色製造能力。
此外,台積電廠務團隊針對先進封測製程產出的含鐵蝕刻廢液,自主研發回用技術,利用鐵離子凝聚沉澱的特性,成功將廢液轉換為可回用於廠內廢水處理的氯化鐵替代藥劑。
台積電指出,至今年10月,這技術已導入先進封測三廠、先進封測五廠、先進封測六廠,累計減少廢液委外處理量920公噸,節省外購藥劑280公噸,並降低140公噸碳排放,創造每年新台幣1900萬元的綜合經濟效益。
台積電表示,為深化資源再生價值,已將這技術納入先進封測新建廠區的標準設計,隨著新廠陸續導入,預估至民國119年將累計減少廢液委外處理量6300公噸,節省外購藥劑1800公噸及減碳980公噸,年創1.3億元綜合效益。(編輯:張良知)1151030